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液體粒子計數(shù)器
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日本理音RION KS-93粒子傳感器

日本理音RION KS-93粒子傳感器

RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋···...
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詳情介紹

RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。


特點優(yōu)勢

測量范圍 5通道;   ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm;  0.3μm;   ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 30000顆/ml(誤差值低于5%)


技術參數(shù)

光源 鐳射二極管(波長:830nm,額定輸出:200mW)

部分材料 人造石英,不銹鋼,氟塑料

流量 測試流量100ml/分鐘

測量范圍 5通道;   ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm;  0.3μm;   ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 30000顆/ml(誤差值低于5%)

電源 100V~240V AC,40VA(包含電源供應器KZ-50)

尺寸.重量 135(H) X 280(W) X 150 (D) mm,大約:6.5kg

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