RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
 

特點優(yōu)勢

粒徑范圍(4通道,標配); ≥0.05μm;  ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm

可選通道 2-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.05~0.2μm

技術(shù)參數(shù)

光源激光二極管泵/固態(tài)晶振鐳射(波長:830nm,額定輸出:200mW)

與樣品接觸部分材料 人造石英,碳氟橡膠、氟塑膠、PMC

外部材質(zhì) SUS304/316、有機玻璃、POM

流量 10ml/分鐘，清洗流量0.1-1l/分鐘(清洗流速隨著樣品來源之壓力不同而改變)

粒徑范圍(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm標配

可選通道 2-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.05~0.2µm

粒子數(shù)量 200000顆/ml，誤差值低于10%

電源100V-240V AC,50/60Hz 130VA

尺寸.重量 230（H）X  330(W) X 570(D) mm（突出部分除外）大約19.8kg