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污染物控制在電子和半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

2021-03-11
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司
半導(dǎo)體、硬盤和平板顯示器的制造商對環(huán)境的要求極其嚴格。即使質(zhì)量方面一個小小的缺陷,就會導(dǎo)致嚴重經(jīng)濟損失。對潔凈車間和工藝制程關(guān)鍵區(qū)域的環(huán)境粒子精確測量計數(shù)來保證高良率下的高品質(zhì)是非常重要的一點?;谶@點考慮,您需要和信任的品牌來合作。TSI公司是公認的世界級空氣塵埃粒子測量領(lǐng)域的權(quán)威。
為了使產(chǎn)品質(zhì)量持續(xù)提高,我們需要穩(wěn)定的測量系統(tǒng)和測量數(shù)據(jù),來更準確的使用諸如統(tǒng)計工程控制(SPC)這樣的改進工具。工藝制程的相關(guān)信息不但有助于最大程度減少停機時間,并且在創(chuàng)造性的提高生產(chǎn)效率這方面也很重要。TSI公司的FMS 5 (在線粒子監(jiān)測系統(tǒng))應(yīng)用軟件自帶的SPC選項,并具有當在工藝進 程出現(xiàn)問題時,實時捕捉報警信息并通知軟件系統(tǒng)的特點。TSI 公司世界級空氣塵埃粒子測量儀器和FMS 5在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)的 完美組合,使您擁有強有力的工具來確保您的工藝制程在可控制的條件下運行。
 
AeroTrak®系列粒子計數(shù)器丨研究與工業(yè)應(yīng)用的完美結(jié)合
 
AeroTrak®系列粒子計數(shù)器,包括手持式,便攜式和遠程式,旨在滿足電子和半導(dǎo)體工業(yè)對潔凈室潔凈度的應(yīng)用要求。AeroTrak粒子計數(shù)器符合ISO 21501-4標準提出的嚴格要求。該系列粒子計數(shù)器通過符合NIST可追溯的PSL微球、公認的粒子檢驗標準、TSI公司世界一流的篩分器和凝聚核粒子計數(shù)器來進行校準°TSI公司以高質(zhì)量、 高精度的長期聲譽來保證,AeroTrak系列粒子計數(shù)器為您提供最 佳的測量系統(tǒng)和測量數(shù)據(jù)來幫助您保證您的工藝過程在可控制的條 件下運行。
 
 
認證和監(jiān)測丨更簡單
 
你是否定期認證您的潔凈室或者持續(xù)監(jiān)測潔凈室,或者兩項都要完成。TSI公司產(chǎn)品幫助簡化您的工作,符合您的要求。AeroTrak便攜式粒子計數(shù)器提供了一個簡單的圖標驅(qū)動的觸摸屏界面,使它很容易上手。具有測量精確數(shù)據(jù),輸出多種格式,完全符合行業(yè)標準的報告的特點。FMS 5在線粒子監(jiān)測軟件是一個功能強大的,連續(xù)監(jiān) 測的系統(tǒng)。AeroTrak遠程式粒子計數(shù)器和其他環(huán)境監(jiān)測傳感器,無縫隙地集成到FMS 5在線粒子監(jiān)測軟件中來收集您工藝制程信息來提高您的工藝制程能力。FMS 5在線粒子監(jiān)測軟件可以通過簡單的配置,使您能夠輕松地生成SPC圖表,便于您對工藝制程能力的分析,提高。
 
 
TSI 便攜式粒子計數(shù)器
 
AeroTrak 系列便攜式粒子計數(shù)器
 
TSI公司提供完整系列的便攜式粒子計數(shù)器,包括1立方英尺/分鐘(28.3升/分 鐘),50升/分鐘,100/分鐘等各種流量。其中9110型號,提供0.1 pm粒徑, 1立方英尺/分鐘(28.3升/分鐘)高靈敏度的測試,滿足您對ISO 1級潔凈度標準的 測量分類。所有AeroTrak粒子計數(shù)器均可與TSI的FMS 5在線粒子監(jiān)測軟件無 縫對接,確保您對產(chǎn)品和工藝制程的精確控制。

AeroTrak 系列便攜式粒子計數(shù)器
 
AeroTrak 手持式粒子計數(shù)器
 
TSI公司的手持式粒子計數(shù)器是尋找泄漏源,分級潔凈區(qū)域,過 濾器檢漏等應(yīng)用方面的非常優(yōu)秀的儀器。當作為調(diào)查工具,問題 出現(xiàn)早期就能及時發(fā)現(xiàn),幫助您節(jié)省時間和金錢。型號9303是 —個具有低成本高性能,3個粒徑通道,0.1立方英尺/分鐘(2.83 升/分鐘)粒子計數(shù)器。型號9306是一款具有6個粒徑通道,0.1立 方英尺/分鐘(2.83升/分鐘)的世界一流的粒子計數(shù)器。
 
AeroTrak 手持式粒子計數(shù)器
 
 
潔凈室驗證產(chǎn)品風(fēng)速儀
 
TSI公司的風(fēng)速儀,是世界級的具有測量精度高,低速等特點的儀 器,一般被用作驗證和檢測潔凈室和其他潔凈設(shè)備。產(chǎn)品包括:
 
+ VelociCalc® 風(fēng)速計
 
+ AccuBalance® 風(fēng)量罩
 
+ Air Velocity Transducers 風(fēng)速傳感器
 
+ DP-Calc™微壓差計
 
 
 
AeroTrak® + 遠程塵埃粒子計數(shù)器
 
TSI AeroTrak®+ 遠程塵埃粒子計數(shù)器(APCS)為潔凈室專業(yè)人員提供一流的可靠性和無障礙操作。儀器覆蓋了寬廣的粒子粒徑,能夠滿足您制造環(huán)境的需要。儀器具有快速設(shè)置和操作方便的特性,是安裝期間節(jié)省時間的首選,同時能夠確保在潔凈設(shè)施的使用壽命內(nèi)進行可靠的測量。
 
AeroTrak+ 遠程APC 有兩種配置。7000 系列是一種傳統(tǒng)的遠程APC,與外部真空系統(tǒng)配合使用。對于不具有外部真空系統(tǒng)或難以靈活改造潔凈設(shè)施的應(yīng)用,新型6000 系列自帶泵遠程APC 是理想的解決方案。兩者都提供了提高產(chǎn)品良率的關(guān)鍵優(yōu)勢。

AeroTrak? + 遠程塵埃粒子計數(shù)器
 
      深圳市億天凈化技術(shù)有限公司是美國 TSI 在中國授權(quán)的一級金牌代理商及售后、維修,校準中心。多次獲得TSI儀器銷售突出貢獻獎、銷售冠軍等。
 
深圳市億天凈化技術(shù)有限公司是美國 TSI 在中國授權(quán)的一級金牌代理商及售后、維修,校準中心。多次獲得TSI儀器銷售突出貢獻獎、銷售冠軍等。
 
       我們不僅是一個優(yōu)秀的儀器代理商和授權(quán)技術(shù)維修中心,同時更是一個出色的系統(tǒng)集成商,提供有線/無線 塵埃粒子自動監(jiān)測系統(tǒng)、粒子可視化檢測系統(tǒng)、有線/無線粉塵濃度實時自動監(jiān)測系統(tǒng)、VOC 實時自動監(jiān)測系統(tǒng)、AMC實時自動監(jiān)測系統(tǒng)等 。
 
 
在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)
 
ESKY環(huán)境粒子無線實時監(jiān)測+無線推車檢測系統(tǒng)+有線循序監(jiān)測集成系統(tǒng),綜合了無線監(jiān)測系統(tǒng)安裝方便、降低施工難度、節(jié)約施工時間的優(yōu)點和無線推車系統(tǒng)靈活性強的優(yōu)點,以及有線循序監(jiān)測較為經(jīng)濟的優(yōu)點。打造全方位一體式的監(jiān)測功能,實用性強、綜合性強、便于高效管理。適用于電子、半導(dǎo)體、電池等行業(yè)大型潔凈室。

在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)
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