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對話億天凈化:直面電子半導(dǎo)體空氣凈化難題,護(hù)航產(chǎn)品良率!

2023-02-23
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司

近日,億天凈化公司總經(jīng)理、深圳市生物與工業(yè)潔凈行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)專業(yè)委員會會長夏群艷女士以“直面電子半導(dǎo)體空氣凈化難題,護(hù)航產(chǎn)品良率”為主題接受芯片揭秘欄目的專訪。

 
 
 
 
 
 

本期話題:

 

  • 家居凈化和工業(yè)級凈化,區(qū)別在哪兒?

  • 真正好的潔凈室一定是低能耗、高效率、高產(chǎn)出的

  • 直擊能耗痛點(diǎn),最合適的方案是這樣“煉”成的

  • 參編行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),好的標(biāo)準(zhǔn)都是“試”出來的

億天凈化
 
 


家居凈化和工業(yè)級凈化

區(qū)別在哪兒?

 

幻實(shí)(主播):歡迎大家關(guān)注芯片揭秘,我是主播幻實(shí)。今天非常開心,我請到了一位在凈化行業(yè)有20多年經(jīng)驗(yàn)的朋友,同時(shí)也是位美女總裁,她就是億天凈化的總經(jīng)理夏群艷女士。先請夏總跟大家打個(gè)招呼!

 

夏群艷(嘉賓):大家好,感謝芯片揭秘的邀請,我是億天凈化的夏群艷。

 

幻實(shí)(主播):說到凈化,大家的第一反應(yīng)可能會想到家用凈化器。之前在上海很多人都處于居家隔離的狀態(tài),家里會有新風(fēng)系統(tǒng)和凈化系統(tǒng)用來提高環(huán)境質(zhì)量,像我家里就有好幾臺凈化器,效果不錯(cuò)。首先請教下您,能否站在從業(yè)者的角度給我們科普一下您所做的空氣凈化具體指什么?和家庭中使用的凈化有沒有區(qū)別?


夏群艷(嘉賓):家庭生活中更為關(guān)注的是顆粒物污染,比如之前被大眾熟知的PM2.5,另外就是家庭裝修所殘留的化學(xué)污染物質(zhì),以甲苯為主。有些在道路邊上不能開窗的家庭,室內(nèi)空間相對來說就比較密閉,需要通過空氣凈化器來提高家庭內(nèi)部的空氣質(zhì)量。這類家庭型的凈化標(biāo)準(zhǔn)跟我們公司所正常從事的特殊工業(yè)領(lǐng)域,例如電子半導(dǎo)體、生物制藥等的標(biāo)準(zhǔn)是有所不同的。

 

這個(gè)不同體現(xiàn)在哪里呢?就是它的精度要求。電子半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崈舳?、溫濕度、壓力以及化學(xué)污染物等整體的潔凈度要求非常高,為什么?IC行業(yè)從過去九十年代的800nm到200nm,再到現(xiàn)在的5nm、3nm,制程越來越先進(jìn),精度逐漸提高,這也意味著一些關(guān)鍵技術(shù)要更加精密化,對環(huán)境的要求也是非??量痰摹?/p>

 

 

我國空氣潔凈行業(yè)現(xiàn)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

 

如果環(huán)境不好,就會對產(chǎn)品的良率造成不可逆轉(zhuǎn)的損失。要知道半導(dǎo)體有700多種工序,在核心的幾道工序里如果出現(xiàn)了嚴(yán)重的顆粒物和化學(xué)污染,會使整體的良率下降非常大。對家居來說,可以用比較寬泛的指標(biāo),比如PM2.5;但對于半導(dǎo)體行業(yè)來說,會有更細(xì)化的要求,細(xì)到什么程度呢?很多時(shí)候要管控在0.1微米,還有化學(xué)污染,我們要求的是0.3個(gè)PPb(Part per billion,表示濃度,也稱十億分比濃度),而家居相對來說就更加寬泛,幾十個(gè)PPb都可以。

 

幻實(shí)(主播):聽起來人對環(huán)境的要求和半導(dǎo)體制造對環(huán)境的要求完全不在一個(gè)量級上,看來人還沒這么嬌貴。

 

夏群艷(嘉賓):對于民用來說,很多設(shè)備只需要滿足PM2.5指標(biāo)或VOC(Volatile organic compounds,揮發(fā)性有機(jī)化合物)總指標(biāo),那么看到的儀器可能會很便宜,百元到幾十元的都有。但是對于半導(dǎo)體來說,這些檢測儀器都是幾十萬甚至上百萬的。所以工業(yè)化和民用化的差距非常大,每提高一個(gè)量化等級,對應(yīng)的技術(shù)難度都是更高的。

 

 

真正好的潔凈室

一定是低功耗、高效率、高產(chǎn)出的

 

幻實(shí)(主播):您剛剛提到了你們會用檢測儀器,我很好奇,你們的商業(yè)模式是什么?是幫助客戶一攬子解決問題還是提供一些“工具”和“尺子”讓客戶去發(fā)現(xiàn)問題?

 

夏群艷(嘉賓):這里有一個(gè)特殊的背景,我們公司是2005年成立的,成立后一直有和美國TSI等全球性氣溶膠科學(xué)檢測儀器企業(yè)合作的歷程,此前也跟HACH合作過。在化學(xué)污染檢測方面,也有與Thermo Fisher、Agilent以及萬通、PBI、杜克等合作。這些主要針對的是儀器的高端化,要給客戶帶來一種精準(zhǔn)化的測量,測量完了以后才能發(fā)現(xiàn)問題并分析問題,再通過發(fā)現(xiàn)問題給客戶做整體的精細(xì)化解決方案。

 

這個(gè)過程就需要我們對整個(gè)的空氣環(huán)境,對用戶的應(yīng)用場景做更細(xì)致化的研究,要跟他們有更多的接觸。因?yàn)楹芏鄷r(shí)候只能看到大面上的一些數(shù)據(jù),實(shí)際上每個(gè)客戶的工藝流程會有所不同,在過程中的管控也會不一樣。我們能夠做的就是通過檢測回來的數(shù)據(jù)去幫助客戶做更多完整性的解決方案。與只供應(yīng)產(chǎn)品或者只提供檢測儀器的單位相比,我們做的閉環(huán)數(shù)據(jù)完整度更高,也能通過數(shù)據(jù)幫助客戶分析場景的應(yīng)用問題,達(dá)到節(jié)能、不浪費(fèi)資源這樣的辦法。

 

幻實(shí)(主播):我覺得很有意思,因?yàn)槲易约杭依锶绻x擇凈化,最擔(dān)心的不是它除了沒有,而是除了以后有沒有效果。就像您剛剛介紹的,你們會用非常先進(jìn)的測量技術(shù)告訴客戶提供的方案確實(shí)能夠解決問題,能在數(shù)據(jù)上讓客戶安心,這真的是一個(gè)不錯(cuò)的體驗(yàn)。畢竟如果等到生產(chǎn)后再發(fā)現(xiàn)良率不合格損失就太大了,追查起來也是很不容易的一件事兒。


夏群艷(嘉賓):對,除了現(xiàn)場的檢測,我們還會在實(shí)驗(yàn)室里多次做實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證不同材料和材料的配方以及相互間搭配的組合,還會根據(jù)客戶的現(xiàn)場環(huán)境變化再不斷地優(yōu)化。很多時(shí)候我們與客戶的合作并不是一種短期的行為,而是長期行為。

 

 


億天凈化的綜合性檢測實(shí)驗(yàn)室

 

服務(wù)周期越長、越好,發(fā)現(xiàn)的問題也會越多。我們在幫助客戶解決實(shí)際問題的時(shí)候,很看重節(jié)能減排的效果。除了保證良率以外,還能在后續(xù)不斷地優(yōu)化中達(dá)到精細(xì)化診斷的程度。從公司角度而言,通過采集數(shù)據(jù)、分析數(shù)據(jù)、優(yōu)化材料、把控現(xiàn)場環(huán)境等組合式的環(huán)節(jié),最終為客戶提供整體解決方案,這樣就非常高效了。做沒做好也能通過現(xiàn)場的環(huán)境數(shù)據(jù)得到反饋,如果沒做好,在現(xiàn)場發(fā)現(xiàn)了異常問題,能快速找到應(yīng)急解決的方法,回到公司實(shí)驗(yàn)室去做新的測試和配套設(shè)計(jì),再完整植入到客戶的現(xiàn)場里去,特別是機(jī)臺這些設(shè)備上也能做到非常好的精細(xì)化管控。


幻實(shí)(主播):剛剛夏總聊到了半導(dǎo)體行業(yè)的特殊性,就是關(guān)注產(chǎn)品的良率。其實(shí)這就是半導(dǎo)體企業(yè)尤其是晶圓代工廠賺不賺錢的核心管理能力了。如果良率管理得好、成熟度高,賺錢的能力就會強(qiáng)很多。我也想問問,據(jù)您了解,現(xiàn)在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)關(guān)于空氣凈化方向的監(jiān)控、監(jiān)管重視程度和管理水平怎么樣?

 

夏群艷(嘉賓):這個(gè)問題問得非常好。空氣過濾涵蓋了空氣動(dòng)力學(xué)、氣溶膠科學(xué)等,涉及化學(xué)專業(yè)、材料專業(yè),還有過濾技術(shù)、檢測技術(shù),它是非常綜合的學(xué)科,也是高科技聚集的學(xué)科。一個(gè)大的潔凈廠房從設(shè)計(jì)到施工再到運(yùn)營維護(hù),以及產(chǎn)品良率爬坡的過程,每個(gè)階段環(huán)境都在時(shí)刻發(fā)生著變化,需要做到精細(xì)化管控。建一個(gè)晶圓廠需要付出巨大的代價(jià),但運(yùn)營潔凈廠房要付出的代價(jià)是持續(xù)性地、不斷增加的。

 

空氣潔凈技術(shù)所涉及到的學(xué)科

 

真正好的潔凈室一定是低能耗、高效率、高產(chǎn)出的,這樣它的運(yùn)營成本、經(jīng)營成本才會下降。由于這部分的綜合價(jià)格都會體現(xiàn)在我們的產(chǎn)品中,所以精細(xì)化管理對于潔凈室、廠房來說,就變成了重中之重。舉例來說,一座潔凈廠房最大的能耗在哪里?一個(gè)是正在運(yùn)行的設(shè)備,另一個(gè)就是整體的空調(diào)系統(tǒng)。對潔凈室來說,它的空氣和空氣冷量是相關(guān)的,空氣過濾系統(tǒng)占整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)能耗運(yùn)營成本的40-50%,大數(shù)據(jù)會體現(xiàn)出精細(xì)化管理的成效。

 

首先生產(chǎn)環(huán)境需要保證所有產(chǎn)品在良率上不出問題,其次又做到精細(xì)化,減少浪費(fèi),這就是節(jié)能型的了。假設(shè)建一座3萬平米的潔凈廠房,實(shí)現(xiàn)高潔凈度肯定沒問題,但這樣建造成本和運(yùn)營成本是相當(dāng)昂貴的??晌覀?nèi)绻麖墓に嚱嵌葋砥饰?,就會發(fā)現(xiàn)不同工藝的潔凈度等級以及化學(xué)污染物的指標(biāo)能夠進(jìn)行分解,分解完成后,不同區(qū)域可以用不同的方案來做管控。不同產(chǎn)品之間也有差異,這就需要嚴(yán)格的測試,在全面的數(shù)據(jù)下面再進(jìn)行優(yōu)化處理。


此外運(yùn)營也很重要,一座廠房剛建好時(shí),基本上環(huán)境是不錯(cuò)的,除了化學(xué)污染比較廣泛外,其他不同地方的潔凈度會比較好。此時(shí)對于化學(xué)污染的控制相對來說不太穩(wěn)定。不過從產(chǎn)品良率爬坡期到穩(wěn)定期這個(gè)過程中,會產(chǎn)生一些持續(xù)性的改變。

 

那么怎樣針對環(huán)境的變化而變化?管理應(yīng)該怎么改變呢?這時(shí)也有很多細(xì)化的工作要做。我們希望能夠通過不斷地檢測和分析,最后幫客戶達(dá)成最佳的管理方案,幫他們做全方位的SOP操作規(guī)程。這里會涉及到企業(yè)端是否具備這么完整的技術(shù)人才儲備,有些企業(yè)做的非常好,什么樣的人才都會有儲備,但并不是所有的企業(yè)都具備這么大的人才資源庫。很多時(shí)候我認(rèn)為專業(yè)的事情還是需要交給專業(yè)的人去處理,他們能實(shí)現(xiàn)事半功倍的效果。

 

幻實(shí)(主播):據(jù)您了解現(xiàn)在晶圓廠在這方面的意識怎么樣?開始重視這個(gè)環(huán)節(jié)了嗎?


夏群艷(嘉賓):是的,他們看重晶圓產(chǎn)品的良率,開始關(guān)注如何精細(xì)化管理降低能耗。

 

 

直擊能耗痛點(diǎn)

最合適的方案是這樣“煉”成的

 

幻實(shí)(主播):剛剛談到了能耗的問題,其實(shí)我沒太搞明白一個(gè)邏輯,就是關(guān)注凈化的問題會對能耗有幫助嗎?還是凈化要求高了會影響能耗的水平?

 

夏群艷(嘉賓):非常大,我一直認(rèn)為沒有最好的,也沒有最差的,只有最合適的。為什么呢?因?yàn)槊總€(gè)客戶的需求都是不一樣的,要解決的問題點(diǎn)也就不一樣。怎樣幫他們?nèi)プ鲎钸m合自身環(huán)境的產(chǎn)品、怎樣做產(chǎn)品之間的組合等,都是各不相同的。例如過濾器就是看阻力,阻力的增加會使能耗上升,因?yàn)樗?4小時(shí)不間斷運(yùn)轉(zhuǎn)的,包括從空調(diào)機(jī)組到潔凈室的主要核心的工藝層生產(chǎn)區(qū),還有換氣系統(tǒng)等。我們所有的過濾器都會有一定的阻力,因?yàn)樗且粋€(gè)介質(zhì),不同產(chǎn)品的組合方式不一樣,都會造成它的巨大浪費(fèi)。它要做的就是綜合的考評,不僅僅是從價(jià)格上面去考慮單次的投入,還要考慮后期運(yùn)營上對能耗的長期投入,這會減少或增加企業(yè)的運(yùn)營成本,優(yōu)化的好自然會減少,優(yōu)化的不好就會增加。

 

幻實(shí)(主播):您說的我特別有感受,因?yàn)檫@種晶圓廠一旦建立了就會用很多年,如果前期規(guī)劃性的東西沒有做好,未來再去調(diào)整成本就會很高了。建設(shè)成本是一攬子的,而持續(xù)的運(yùn)營成本是每天都要花出的,所有運(yùn)營這個(gè)廠的人都要付出代價(jià),不僅要保證空氣質(zhì)量能效的達(dá)標(biāo),還要保證運(yùn)營成本的可控,所以我覺得擁有廠的人都是不容易的,要想的非常全面。夏總您和這些晶圓廠合作的時(shí)候有沒有遇到過針對供應(yīng)鏈穩(wěn)定性上面的一些挑戰(zhàn)?因?yàn)榍皟赡臧雽?dǎo)體供應(yīng)鏈不是特別穩(wěn)定,在芯片行業(yè)經(jīng)常出現(xiàn)局部缺芯的狀況,有時(shí)甚至是核心原材料供應(yīng)不足,尤其是一些從日本進(jìn)口回來的。從您的角度來說,凈化技術(shù)也涉及到材料的方向,有在供應(yīng)鏈上面遇到過問題嗎?

 

夏群艷(嘉賓):我們代理的都是一些高端儀器,是系統(tǒng)集成商。億天凈化的戰(zhàn)略合作品牌有TSI、Purafil(普拉飛)、Rion(理音)、TAPI、PBI、SNK、SUEZ(蘇伊士)、ThermoFisher(賽默飛)、APMON、VWR(艾萬拓威達(dá)優(yōu)爾)等。

 

我們生產(chǎn)粉塵過濾器時(shí),會買一部分材料回來,做工藝、結(jié)構(gòu)方面的設(shè)計(jì),再做優(yōu)化方案,最后做成成品。所以在研發(fā)的過程當(dāng)中,就已經(jīng)把原材料地域性的問題弱化了,降低了風(fēng)險(xiǎn)性。對于另一些化學(xué)過濾器來說就更加沒有影響了,因?yàn)橘I回來的原料就是碳粉,它呈散狀,又是可以進(jìn)行多種組合的,基本上不存在干擾。除此之外我們也在自主設(shè)計(jì)和研發(fā)一些原材料,能夠滿足供應(yīng)需求,不太會受到例如美國制裁等大環(huán)境的影響,總體來說問題不大。


幻實(shí)(主播):這也是很不錯(cuò)的進(jìn)展,現(xiàn)在億天凈化在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)擁有了哪些比較成熟的客戶?可以介紹一下嗎?


夏群艷(嘉賓):目前國內(nèi)兩大fab存儲廠——長江存儲和長鑫存儲都在使用我們供應(yīng)的空氣過濾設(shè)備。硅片行業(yè)里,中欣晶圓的12吋廠、8吋廠,包括有研半導(dǎo)體等都是我們的合作客戶。對于其他的設(shè)備廠商我們也提供不同的配套產(chǎn)品和服務(wù)。

 

 


億天凈化在電子半導(dǎo)體賽道的部分合作伙伴

 

針對合作過程中出現(xiàn)的問題我們也會跟客戶不斷溝通和協(xié)調(diào),幫助他們解決一些能耗問題,客戶對我們的信任度也比較高。有些行業(yè)的客戶,我們能幫他做精準(zhǔn)化定制,比如對硼和磷這類材料的管制,在減少能耗的同時(shí)也讓他們的良率提升的非???。

 

 

參編行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

好的標(biāo)準(zhǔn)都是“試”出來的

 

幻實(shí)(主播):您在技術(shù)上面已經(jīng)有很多的積累了,我了解到您還是深圳潔凈行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)專業(yè)委員會的會長,也承擔(dān)過很多標(biāo)準(zhǔn)的制定,同時(shí)常年和一些大學(xué)都有合作,我也想請教一下,你們?yōu)槭裁磿x擇參與到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定中?

 

 


億天凈化曾參與行業(yè)內(nèi)三項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)的起草工作

 

夏群艷(嘉賓):因?yàn)闊o論是做產(chǎn)品還是做檢測,都需要相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)。沒有標(biāo)準(zhǔn),我們甚至都不清楚該造出什么樣的產(chǎn)品。在此過程中需要不斷地學(xué)習(xí)、不停地實(shí)驗(yàn),與院校合作可以滿足這些需求。通過對比做實(shí)驗(yàn),不斷地了解產(chǎn)品的特性、優(yōu)越性和組合。在這一系列里,我們掌握了很多的細(xì)節(jié),學(xué)會了怎樣通過不同的組合方案幫客戶解決實(shí)際問題。我們非常榮幸能夠參加國際的潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境檢測技術(shù)的應(yīng)用與分析,參與到幾大標(biāo)準(zhǔn)的制定中。在深圳也有團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn),叫做潔凈室車間環(huán)境的在線監(jiān)測技術(shù)與規(guī)程,目前我們還有幾個(gè)在編的項(xiàng)目,關(guān)于核心區(qū)域工業(yè)潔凈室方面的檢測技術(shù),不僅僅是顆粒物的,還有化學(xué)污染類的。在制定標(biāo)準(zhǔn)的過程中,我們不斷地總結(jié)迭代和做實(shí)驗(yàn),這也讓我們自己的產(chǎn)品得到很大的進(jìn)步。

 

一方面很感謝行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀的引領(lǐng)者帶著我們這些企業(yè)不斷地往前走,另一方面,企業(yè)也通過不斷地接觸現(xiàn)場環(huán)境,及時(shí)反饋給標(biāo)準(zhǔn)制定方,從而互相得到提升。我希望伴隨著這種過程的深入,能剖析國內(nèi)的產(chǎn)業(yè)在實(shí)際應(yīng)用方面,例如在運(yùn)營、節(jié)能等指標(biāo)上帶來更多優(yōu)質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)。隨著中國不斷的強(qiáng)大,通過標(biāo)準(zhǔn)化的制程、設(shè)計(jì)以及推廣,能讓廣大的企業(yè)不斷受益,也不斷提升自己。


幻實(shí)(主播):非常有社會責(zé)任感,做的也是綠色節(jié)能環(huán)保的行業(yè),更體現(xiàn)社會責(zé)任,向您致敬!最后我還想問問您,您想把億天凈化做成什么樣的公司?未來的愿景和規(guī)劃是什么?


夏群艷(嘉賓):其實(shí)對我來說,我們的多元化指的是應(yīng)用的多元化。因?yàn)榻酉聛頍o論是整個(gè)的經(jīng)濟(jì)體制還是技術(shù)發(fā)展,都不斷地再往更高的方向發(fā)展,對于我們潔凈行業(yè),它能助力于所有高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。電子半導(dǎo)體屬于高科技,生物制藥也屬于高科技,我們的生物實(shí)驗(yàn)室、生化實(shí)驗(yàn)室,還有所有的動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,這些環(huán)境里面都會發(fā)生巨大的變化,還有疫情所導(dǎo)致的疾控、醫(yī)療,包括病毒的傳播,它都是以空氣作為介質(zhì)傳播的東西。我是希望以后如果有朝一日能夠針對不同的行業(yè)做一些應(yīng)用性的解決方案,幫助更多的行業(yè)去做一些精準(zhǔn)化的管控,避免浪費(fèi)。很多時(shí)候我們的檢測技術(shù)如果存在缺陷的話,可能造成部分產(chǎn)品的特性也變得參差不齊。

 

一個(gè)好產(chǎn)品,它不一定是最貴的,也不一定是最便宜的,而是最合適的。所以我們就是用檢測的數(shù)據(jù)幫助客戶去用正確的方法解決一些問題,讓他們花費(fèi)更少的代價(jià)去做到他們想要達(dá)成的事兒。針對以后的行業(yè)做行業(yè)性的解決方案,可以幫助到更多的人。

 


億天凈化
空氣潔凈系統(tǒng)綜合解決方案

 

 

幻實(shí)(主播):非常棒,今天您來芯片揭秘分享了很多,非常感謝您對我們做一些認(rèn)知上的開拓。最后您想借助我們的平臺對外做什么呼吁?


夏群艷(嘉賓):潔凈技術(shù)屬于高科技技術(shù),有一定的特殊性。對于國內(nèi)來說,我們行業(yè)不缺人才,但是比較散,尤其是核心的一些大的行業(yè)、大的客戶,基本上在客戶的應(yīng)用供應(yīng)鏈上面國外的品牌居多。我是希望國內(nèi)的企業(yè)能夠擰成一股繩,認(rèn)認(rèn)真真、踏踏實(shí)實(shí)的去以技術(shù)為中心,從以前的量變到質(zhì)變,真正的去優(yōu)化一個(gè)方案,幫客戶解決一些實(shí)際問題。做好東西,做正確的東西。千萬不要為了做而做,這樣的話,會有巨大的浪費(fèi)。

 

幻實(shí)(主播):不要為了做而做,希望大家擰成一股繩。好的,謝謝夏總!


夏群艷(嘉賓):我是億天凈化的夏群艷,我在芯片揭秘等著你。

 

 

提起PM2.5,大部分的人都不會感到陌生。近年來,公眾的環(huán)保意識在不斷增強(qiáng),對PM2.5污染問題的關(guān)注也越來越多。新版《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》已將其納入強(qiáng)制性污染物監(jiān)測范圍,并于2016年開始正式實(shí)施。

 

家居環(huán)境看重PM2.5,但換到工業(yè)環(huán)境,尤其是以電子半導(dǎo)體為代表的先進(jìn)制造領(lǐng)域,對污染物的凈化要求遠(yuǎn)高于家居環(huán)境。這也意味著先進(jìn)制造離不開潔凈行業(yè)的“護(hù)航”——只有環(huán)境達(dá)標(biāo),才能減小fab廠在生產(chǎn)過程中受到的污染影響。我們希望國內(nèi)有更多的潔凈企業(yè)能夠看到行業(yè)長遠(yuǎn)發(fā)展的趨勢,從而把握機(jī)遇。通過不斷的技術(shù)迭代,為先進(jìn)制造業(yè)提供低能耗、高效率、高產(chǎn)出的優(yōu)質(zhì)環(huán)境。


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