在線監(jiān)測系統(tǒng),既避免了人工巡檢的人為因素對潔凈室環(huán)境的干擾,也滿足獲得連續(xù)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的要求。
ESKY-VOCs主要由傳感器陳列模塊、多路采樣器、控制柜以及在線軟件監(jiān)控系統(tǒng)4個部分組成。設備通過多路采樣器配套的大泵完成遠距離抽樣,之后再通過微型小泵進行傳感器精準送樣,實現(xiàn)精準采樣量以及過濾控制;利用專利高效能微氣相色譜諧技術(shù)(GC),可實現(xiàn)定制化VOC分離效能。
采用復合傳感器組合,實現(xiàn)做低VOC檢測限(<ppb);部署帶有RAID1磁盤陣列保護服務器,實現(xiàn)豐富的圖表數(shù)據(jù)展示。